R116超低溫冷媒

產品描述：R-116 制冷劑 / 雪種
CAS編號：76-16-4
包裝規格：8kg / 30kg / 380kg

產品介紹
R-116 別名六氟乙烷（Perfluoroethane），亦稱全氟乙烷，PFC-116（R-116），化學式C2F6，商品名稱Reflube 116。
 

典型應用
R116（六氟乙烷，C2F6）可用于一種具多功能的蝕刻技術，常見于半導體之生產。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。R116可與R23（三氟甲烷）一起用于配置制冷劑R508A（R116占61%）及R508B（R116占54%）。
 

儲存運輸
R-116 制冷劑鋼瓶為帶壓容器，儲存時應遠離火種、熱源、避免陽光直接曝曬，通常儲放于陰涼、干燥和通風的倉庫內；搬運時應輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門等附件破損。
 

產品優勢
更新中